Металлоорганические соединения и лиганды

Металлоорганические соединения в промышленности: от прекурсоров CVD/ALD до катализаторов

Металлоорганические соединения — класс веществ, в молекулах которых атом металла непосредственно связан с углеродным атомом органического лиганда или координирован с органической молекулой. В промышленности они занимают принципиально важное место: без прецизионно синтезированных металлоорганических прекурсоров невозможно производство современных полупроводниковых компонентов, высокоэффективных катализаторов для тонкого органического синтеза, люминофоров для OLED-устройств, а также специальных оксидных плёнок в микроэлектронике.

Наша компания осуществляет поставку широкой номенклатуры металлоорганических и органофосфорных соединений для нужд исследовательских лабораторий, производств микроэлектроники, химических предприятий и организаций, занятых разработкой новых материалов. Ниже — подробное описание основных групп поставляемых веществ с указанием их технического применения, форм выпуска и особенностей работы с ними.

Прекурсоры для CVD и ALD: диалкиламинопроизводные металлов

Химическое осаждение из газовой фазы (CVD — Chemical Vapor Deposition) и атомно-слоевое осаждение (ALD — Atomic Layer Deposition) являются ключевыми технологиями нанесения тонких функциональных плёнок в производстве интегральных схем, ДОЗУ, транзисторов с высокими диэлектрическими затворами (high-k gate dielectric) и диффузионных барьеров.

Для этих процессов требуются летучие, термически стабильные и химически активные прекурсоры с предсказуемой кинетикой разложения. Диалкиламинопроизводные переходных металлов — наиболее распространённый и хорошо изученный класс таких прекурсоров.

Диалкиламинопроизводные титана

Тетракис(диметиламино)титан (TDMAT, CAS 3275-24-9, чистота 99%) и тетракис(диэтиламино)титан (TDEAT, CAS 4419-47-0, чистота 99%) — наиболее широко применяемые прекурсоры для осаждения тонких плёнок диоксида титана TiO₂ и нитрида титана TiN методами ALD и CVD. TiN используется как диффузионный барьер (Cu-металлизация) и нижний электрод в конденсаторах ДОЗУ. Тетракис(этилметиламино)титан (TEMAT, CAS 308103-54-0) — более летучая альтернатива с улучшенными характеристиками для низкотемпературного ALD. Бис(изопропокси)бис(диметиламино)титан и трис(изопропокси)диметиламинотитан применяются в гибридных алкоксо-амидных прекурсорных системах, обеспечивающих другой состав и морфологию осаждённого покрытия по сравнению с чисто амидными аналогами.

Диалкиламинопроизводные гафния и циркония

Тетракис(диметиламино)гафний (TDMAH, CAS 19962-11-9, 99%) и тетракис(диэтиламино)гафний (TDEAH, CAS 19824-55-6, 99%) — стандартные прекурсоры для ALD оксида гафния HfO₂. Начиная с технологического узла 45 нм, HfO₂ является основным high-k диэлектриком затвора в КМОП-транзисторах (Intel, TSMC, Samsung). Тетракис(этилметиламино)гафний (TEMAH, CAS 352535-01-4, 99%) обладает повышенной летучестью и активно используется в промышленных ALD-реакторах.

Аналогично для циркония: тетракис(диметиламино)цирконий (TDMAZ, CAS 19756-04-8, 99%), тетракис(диэтиламино)цирконий (TDEAZ, CAS 13801-49-5, 99%) и тетракис(этилметиламино)цирконий (TEMAZ, CAS 175923-04-3, 99%) применяются для осаждения ZrO₂ — альтернативного high-k диэлектрика и функционального оксидного покрытия.

Диалкиламинопроизводные тантала, ниобия, кремния, германия, галлия и ванадия

Пентакис(диметиламино)тантал (PDMAT, CAS 19824-59-0, 98%) — промышленный прекурсор для CVD/ALD нитрида тантала TaN, используемого как диффузионный барьер под медную металлизацию в УБИС. Трис(диметиламино)галлий (CAS 180335-73-3, 98%) находит применение как источник галлия в MOCVD-процессах роста GaN, GaAs и смешанных нитридных полупроводников III-V группы. Тетракис(диметиламино)германий (CAS 7344-40-3, 99%) — прекурсор для CVD германиевых слоёв и SiGe-гетероструктур. Тетракис(диметиламино)силан (TDMAS, CAS 1624-01-7, 99%) применяется в ALD-процессах осаждения нитрида кремния Si₃N₄ при относительно низких температурах. Трис(диметиламино)силан (3DMAS, CAS 15112-89-7, 99%+) также активно используется в производстве SiO₂ и Si₃N₄ ALD.

Диалкиламинопроизводные олова (тетракис(диметиламино)станнан, тетракис(диэтиламино)станнан, чистота 97%) используются для осаждения SnO₂ — прозрачного проводящего оксида. Тетракис(этилметиламино)ванадий (CAS 791114-66-4, 97%) — прекурсор для ванадийсодержащих покрытий. Трис(диметиламино)стибин (CAS 7289-92-1, 99%) служит источником сурьмы для MOCVD GaSb и InSb — полупроводников для инфракрасной оптоэлектроники.

Отдельного внимания заслуживают специализированные соединения: трис(диметиламино)(3-гексенил)тантал — функционализированный прекурсор для CVD тантала с регулируемой летучестью; диметиламинодиметилиндий — нестандартный источник индия для MOCVD In-содержащих соединений; тетракис(пирролидино)титан и (N,N’-ди-изо-пропилацетамидинато)трис(изопропокси)титан — специализированные Ti-прекурсоры для исследовательских применений.

Имидопроизводные переходных металлов: прекурсоры для тугоплавких нитридов и оксидов

Имидопроизводные (соединения с фрагментом M=NR) обладают значительно более высокой термической устойчивостью по сравнению с чисто амидными аналогами, что делает их перспективными прекурсоры CVD/ALD при повышенных температурах процесса.

Имидопроизводные ниобия

В ассортименте представлены: (трет-бутилимидо)трис(трет-бутокси)ниобий (CAS 1009837-09-5, 98%), (трет-бутилимидо)трис(изопропокси)ниобий (CAS 1009837-74-4, 98%), (трет-бутилимидо)трис(диэтиламино)ниобий (CAS 210363-27-2, 98%), (трет-бутилимидо)трис(диметиламино)ниобий (CAS 69039-12-9, 98%), (изопропилимидо)трис(диэтиламино)ниобий (CAS 210363-26-1, 98%) и (трет-бутилимидо)трис(метилэтиламино)ниобий (CAS 864150-47-0, 98%). Эти соединения используются как прекурсоры для Nb₂O₅ и NbN — материалов для сверхпроводящих устройств и оксидных конденсаторов.

Имидопроизводные тантала

Аналогичный набор имидотантальных соединений: (трет-бутилимидо)трис(трет-бутокси)тантал (CAS 1009837-34-6, 98%), (изопропилимидо)трис(трет-бутокси)тантал (CAS 1009837-30-2, 97%), (трет-бутилимидо)трис(диэтиламино)тантал (CAS 169896-41-7, 99%), (трет-бутилимидо)трис(диметиламино)тантал (CAS 69039-11-8, 98%), (трет-бутилимидо)трис(метилэтиламино)тантал (CAS 511292-99-2, 99%). Та-имидные прекурсоры применяются для CVD/ALD TaN — критического диффузионного барьера в современной микроэлектронике.

Имидопроизводные вольфрама и молибдена

Бис(трет-бутилимидо)бис(диметиламино)вольфрам(VI) (CAS 406462-43-9, 98%) и бис(трет-бутилимидо)бис(диметиламидо)молибден (CAS 923956-62-1, 98%) — высокоактивные прекурсоры для CVD нитридов и оксидов вольфрама и молибдена. WN и MoN — потенциальные диффузионные барьеры и электродные материалы. Молибденовые покрытия применяются также в производстве тонкоплёночных солнечных элементов CIGS.

Металлоцены и производные циклопентадиенила: от катализаторов полимеризации до MOCVD-прекурсоров

Металлоцены — сэндвичевые комплексы переходных металлов с двумя циклопентадиенильными лигандами Cp (η⁵-C₅H₅). Это один из наиболее разнообразных и практически значимых классов металлоорганических соединений.

Простые металлоцены: хромоцен, кобальтоцен, никелоцен, ванадоцен, манганоцен, магнезоцен

Бис(циклопентадиенил)хром (хромоцен, CAS 1271-24-5, 97%+, сублимированный), бис(циклопентадиенил)кобальт(II) (кобальтоцен, CAS 1277-43-6, 98%+), бис(циклопентадиенил)никель (никелоцен, CAS 1271-28-9, 99%), бис(циклопентадиенил)ванадий (ванадоцен, сублимированный, CAS 1277-47-0, 98%), бис(циклопентадиенил)марганец (манганоцен, CAS 73138-26-8, 98%+) и бис(циклопентадиенил)магний (магнезоцен, CAS 1284-72-6, 99%/99.99%) применяются как исходные реагенты для синтеза функционализированных металлоценов, в качестве MOCVD-прекурсоров соответствующих металлов, а также в органическом и металлоорганическом синтезе. Магнезоцен с чистотой 99.99% по магнию — специализированный продукт для электронных применений.

Цирконоцен, гафноцен и титаноцен дихлориды: катализаторы Циглера-Натта и Камински

Бис(циклопентадиенил)цирконийдихлорид (зирконоцендихлорид, Cp₂ZrCl₂, CAS 1291-32-3, 99%), бис(циклопентадиенил)гафнийдихлорид (гафноцендихлорид, CAS 12116-66-4, 98%+) и бис(циклопентадиенил)ванадийдихлорид (CAS 12083-48-6, 98%) — фундаментальные металлоценовые прекурсоры для получения высокоактивных катализаторов Камински-Зина. В комбинации с метилалюмоксаном (МАО) они обеспечивают полимеризацию этилена и пропилена с активностью, многократно превышающей традиционные катализаторы Циглера-Натта на основе TiCl₃/AlEt₂Cl. Продукты — металлоценовые полиолефины mPE, mPP — с узким молекулярно-массовым распределением и регулируемой микроструктурой.

Реагент Шварца — бис(циклопентадиенил)цирконийхлоридгидрид (Cp₂ZrHCl, CAS 37342-97-5, 95%+) — высокоселективный реагент для гидроциркониирования алкенов и алкинов в тонком органическом синтезе. Реакция Шварца обеспечивает региоселективное присоединение Zr-H по кратной связи с образованием алкилцирконийных интермедиатов, которые далее трансформируются в альдегиды, карбоновые кислоты, галогенсодержащие соединения и т.д.

Алкилциклопентадиенильные производные для CVD/ALD

Алкилзамещённые металлоценовые дихлориды — бис(метилЦп), бис(этилЦп), бис(изопропилЦп), бис(н-бутилЦп), бис(трет-бутилЦп) производные цирконоцена, гафноцена и титаноцена — представлены в ассортименте в виде обширной матрицы соединений. Их использование как CVD/ALD прекурсоров позволяет регулировать летучесть и реакционную способность через выбор алкильного заместителя: трет-бутильные производные более летучи, метильные — менее. Диметилбис(циклопентадиенил)цирконий (CAS 12636-72-5, 98%+) и аналогичные диметильные производные гафния (CAS 37260-88-1) применяются как прекурсоры, позволяющие вводить металл без хлоридного загрязнения плёнки. Триметокси(метилциклопентадиенил)титан (CAS 706820-38-4, 98%) — гибридный алкоксо-металлоценовый прекурсор для тонкоплёночных оксидов.

Пентаметилциклопентадиенильные производные: декаметаллоцены и Cp*-комплексы

Бис(пентаметилциклопентадиенил)-производные хрома (декаметилхромоцен, CAS 74507-61-2), марганца (декаметилманганоцен, CAS 67506-86-9), никеля (декаметилникелоцен, CAS 74507-63-4) и кальция (CAS 101200-05-9) — стерически защищённые металлоцены для синтеза реактивных металлоорганических интермедиатов. Cp* (пентаметилциклопентадиенил) значительно стабилизирует металлоценовый комплекс по сравнению с незамещённым Cp и открывает доступ к нестандартным степеням окисления металла. Пентаметилциклопентадиенилтрихлориды и тетрахлориды (Cp*MCl_n) гафния, тантала, титана и циркония (98%+, CAS указаны в прайс-листе) — ценные прекурсоры для синтеза полуметаллоценовых комплексов, в том числе катализаторов постметаллоценового типа.

Пентаметилциклопентадиенилгексафторфосфат кобальта (CAS 79973-42-5, 98%) и литий пентаметилциклопентадиенид (CAS 51905-34-1, 98%) — реагенты для синтеза Cp*-металлоценов других металлов. Бис(пентаметилциклопентадиенил)цирконийдихлорид, -гафнийдихлорид и -титандихлорид (все 98–99%) — родоначальники постциглеровских катализаторов с улучшенной стереоконтролируюшей способностью.

Мостиковые металлоцены: рац-этиленбис(1-инденил) и диметилсилил-мостиковые комплексы

Рац-этиленбис(1-инденил)цирконийдихлорид (рац-EBIZrCl₂, CAS 100080-82-8, 98%+) и рац-диметилсилилбис(1-инденил)цирконийдихлорид (CAS 121009-93-6, 97%+) — изотактикоспецифичные металлоценовые катализаторы для синтеза изотактического полипропилена с высокой температурой плавления. Рац-диметилсилилбис(2-метилинденил)цирконийдихлорид (CAS 149342-08-5, 98%) обеспечивает синтез изотактического ПП с ещё более высоким содержанием изотактических триад. (Диметилбис(циклопентадиенил)силил)цирконийдихлорид (CAS 86050-32-0, 98%+) — мостиковый зирконоцен для управления стереохимией полимеризации через изменение угла при металлическом центре. Рац-этиленбис(1-инденил)бис(фенокси)цирконий (CAS 205592-53-6, 97%) — феноксид-имидный комплекс, представитель катализаторов FI-типа (Phenoxyimine).

Инденильные производные

Бис(инденил)цирконийдихлорид (CAS 12148-49-1, 98%+), бис(2-метилинденил)цирконийдихлорид (CAS 165688-64-2, 98%+), диметилбис(инденил)цирконий (CAS 49596-04-5, 98%+) и диметилбис(инденил)силан (CAS 18666-26-7, 98%+) применяются в качестве прекурсоров мостиковых металлоценов и самостоятельных каталитических систем. Инденилтитантрихлорид (CAS 84365-55-9, 99%) — прекурсор к полуметаллоценовым Ti-катализаторам, активным в олефиновой полимеризации.

Редкоземельные металлоорганические соединения (REO): прекурсоры MOCVD и лантанидные катализаторы

Одна из наиболее обширных групп в ассортименте — комплексы лантанидов и иттрия с циклопентадиенильными лигандами. Все они производятся с содержанием редкоземельного металла 99,9% (REO), что соответствует требованиям к высокочистым прекурсорам для электронной промышленности.

Более подробно о применении редкоземельных металлов в электронике и специальных материалах читайте в разделе редкоземельные металлы и материалы.

Трис(циклопентадиенил)лантаниды: Ln(Cp)₃

Трис(циклопентадиенил)-комплексы представлены для следующих лантанидов (чистота 98–99%, REO 99,9%): церий (Ce, CAS 1298-53-9), эрбий (Er, CAS 39330-74-0), гадолиний (Gd, CAS 1272-21-5), лантан (La, CAS 1272-23-7), неодим (Nd, CAS 1273-98-9), празеодим (Pr, CAS 11077-59-1), самарий (Sm, CAS 1298-55-1), тербий (Tb, CAS 1272-25-9), тулий (Tm, CAS 1272-26-0), иттербий (Yb, CAS 1295-20-1), иттрий (Y, CAS 1294-07-1). Эти летучие комплексы применяются как прекурсоры MOCVD для осаждения редкоземельных оксидных плёнок — высокотемпературных high-k диэлектриков, люминесцентных слоёв и ионопроводящих покрытий для топливных ячеек.

Алкилциклопентадиенильные лантанидные комплексы

Для обеспечения необходимой летучести при более низких температурах испарения (что критично для промышленных MOCVD-реакторов) применяются алкилзамещённые лантанидные металлоцены. В ассортименте — полная матрица: метил-, этил-, н-пропил-, изопропил- и н-бутилциклопентадиенильные трис-комплексы для дисперозия (Dy), эрбия (Er), гадолиния (Gd), лантана (La), лютеция (Lu), неодима (Nd), празеодима (Pr), самария (Sm), тербия (Tb), иттербия (Yb), иттрия (Y) и церия (Ce). Чистота металла — 99,9% (REO). Изопропилциклопентадиенильные производные обеспечивают наилучший баланс летучести и термической стабильности среди этой серии. Бис(метилциклопентадиенил)хлориды иттрия, эрбия и иттербия (97%) применяются для синтеза гетеролептических лантанидных комплексов.

Трис(N,N-бис(триметилсилил)амидо) лантаниды

Трис(N,N-бис(триметилсилил)амидо) комплексы эрбия (CAS 103457-72-3, 98%+), лантана (CAS 175923-07-6, 98%+) и иттрия (CAS 41836-28-6, 98%+) — бесхлоридные лантанидные реагенты для синтеза в мягких условиях. Из них получают алкил-, арил- и другие функционализированные лантанидные комплексы методами солевого метатезиса.

β-Дикетонаты металлов (TMHD-комплексы): прекурсоры MOCVD, ALD и золь-гель синтеза

β-Дикетонаты металлов с лигандом 2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионат (TMHD, также известным как дипивалоилметанат, dpm) — один из наиболее универсальных классов металлоорганических прекурсоров. Их достоинства: высокая летучесть (особенно у легковесных металлов), стабильность на воздухе (в отличие от амидов и металлоценов), совместимость с золь-гель процессами, CVD и MOCVD. TMHD как органический лиганд синтезируют из 2,2,6,6-тетраметилгептан-3,5-диона (TMHD, CAS 1118-71-4, 98%).

Об особенностях применения металлоорганических соединений и высокочистых химических материалов в производстве полупроводников подробно рассказано на странице металлоорганические соединения в производстве полупроводников и микроэлектроники.

TMHD-комплексы переходных металлов и p-элементов

В ассортименте представлены следующие бис-TMHD комплексы (n=2): барий Ba(TMHD)₂ (CAS 17594-47-7, 98%) и его аддукт с фенантролином (99%), кальций Ca(TMHD)₂ (CAS 36818-89-0, 99%), медь Cu(TMHD)₂ (CAS 14040-05-2, 99%), свинец Pb(TMHD)₂ (CAS 21319-43-7, 99%), магний Mg(TMHD)₂ гидрат (CAS 625832-70-4, 98%+), никель Ni(TMHD)₂ (CAS 41749-92-2, 98%+), оксотитан OTi(TMHD)₂ (CAS 152248-67-4, 95%+), стронций Sr(TMHD)₂ гидрат (CAS 199445-30-2, 98%) и его аддукт с фенантролином (98%), цинк Zn(TMHD)₂ (CAS 14363-14-5, 99%), литий Li(TMHD) (CAS 22441-13-0, 98%+). Трис-TMHD комплексы (n=3): кобальт Co(TMHD)₃ (CAS 14877-41-9, 99%), висмут Bi(TMHD)₃ (CAS 142617-53-6, 98%+), индий In(TMHD)₃ (CAS 34269-03-9, 99%), марганец Mn(TMHD)₃ (CAS 14324-99-3, 99%). Тетракис-TMHD: гафний Hf(TMHD)₄ (CAS 63370-90-1, 98%), цирконий Zr(TMHD)₄ (CAS 18865-74-2, 99%), церий Ce(TMHD)₄ (CAS 18960-54-8, 97%+, Ce 99,9%).

Эти соединения находят применение в: MOCVD сложных оксидных плёнок (BaTiO₃, SrTiO₃, PbZrTiO₃, YBaCuO); ALD функциональных покрытий на подложки; золь-гель синтезе оксидных керамик; синтезе катализаторов; нанесении барьерных и антикоррозионных покрытий.

TMHD-комплексы редкоземельных металлов (99,9% REO)

Полная линейка трис-TMHD лантанидов: диспрозий Dy(TMHD)₃ (CAS 15522-69-7, 99%), эрбий Er(TMHD)₃ (CAS 35733-23-4, 99%), европий Eu(TMHD)₃ (CAS 15522-71-1, 99%) — люминофорный прекурсор для красного свечения OLED, гадолиний Gd(TMHD)₃ (CAS 14768-15-1, 99%), лантан La(TMHD)₃ (CAS 14319-13-2, 99%), лютеций Lu(TMHD)₃ (CAS 15492-45-2, 99%), неодим Nd(TMHD)₃ (CAS 15492-47-4, 99%), празеодим Pr(TMHD)₃ (CAS 15492-48-5, 99%), самарий Sm(TMHD)₃ (CAS 15492-50-9, 99%), тербий Tb(TMHD)₃ (CAS 15492-51-0, 99%), тулий Tm(TMHD)₃ (CAS 15631-58-0, 99%), иттербий Yb(TMHD)₃ (CAS 15492-52-1, 99%), иттрий Y(TMHD)₃ (CAS 15632-39-0, 99%). Скандий представлен в виде трис(2,2,7-триметил-3,5-октандионато) комплекса Sc(3MOD)₃ (99%, Sc 99,9%), иттрий — также в форме Y(3MOD)₃ (CAS 165275-64-9, 99%), лютеций — Lu(4MOD)₃ (98%, Lu 99,9%).

Аминоалкоксидные комплексы

Бис(1-диметиламино-2-метил-2-пропанолато)свинец(II) Pb(dmamp)₂ (CAS 934302-16-6, 98%), трис(dmamp)₃-комплексы лютеция Lu(dmamp)₃ (CAS 192228-18-5, 95%, Lu 99,9%) и иттербия Yb(dmamp)₃ (95%, Yb 99,9%) — аминоалкоксидные прекурсоры повышенной летучести. Применяются в ALD и MOCVD, особенно там, где требуется низкое рабочее давление испарения прекурсора.

Алкил(арил)производные металлов: оловоорганические и германийорганические соединения

Оловоорганические соединения тетраметилтин (ТМТ, CAS 594-27-4, 98%), тетраэтилтин (CAS 597-64-8, 99%), тетравинилтин (CAS 1112-56-7, 98%+) и три-н-бутилвинилтин (CAS 7486-35-3, 98%) применяются как прекурсоры CVD для осаждения оловосодержащих слоёв и в металлоорганическом синтезе — реакциях Стилле. Галогенопроизводные: диметилтинхлорид (CAS 753-73-1, 95%+), дифенилтинхлорид (CAS 1135-99-5, 96%), метилтинтрихлорид (CAS 993-16-8, 98%+), триметилтинхлорид (CAS 1066-45-1, 98%+, также в растворе 1М в гексане и в CH₂Cl₂), триметилтингидроксид (CAS 56-24-6, 98%) и оксиды — диметилтинокись (CAS 2273-45-2, 97%+), дифенилтинокись (CAS 2273-51-0, 98%) — реагенты для органического синтеза и структурных исследований. Тетрациклогексилтин (CAS 1449-55-4, 99%) — специализированный реагент.

Германийорганические соединения: тетраметилгерман (CAS 865-52-1, 99%), тетраэтилгерман (CAS 597-63-7, 99%), тетраллилгерман (CAS 1793-91-5, 98%), тетра-н-бутилгерман (CAS 1067-42-1, 98%+) — прекурсоры для CVD германиевых слоёв и полупроводниковых гетероструктур Si_1-xGe_x. Триэтилгерманийхлорид (CAS 994-28-5, 98%) и германий(IV)метоксид (CAS 992-91-6, 98%) — прекурсоры для синтеза функционализированных Ge-соединений и золь-гель оксидов германия.

Трис[2-[(диметиламино)метил]фенил-C,N]висмут (CAS 183954-19-0, 98%) — нестандартное висмутоорганическое соединение с внутримолекулярной координацией N→Bi. Метилтриоксорений (MTO, CAS 70197-13-6, 98%) — высокоактивный катализатор эпоксидирования олефинов перекисью водорода и метатезиса. Гексаметилдиолово (CAS 661-69-8, 99%) — реагент для синтеза оловоорганических производных.

Индийорганические соединения — (трет-бутокси)диэтилиндий (CAS 30615-27-1, 98%), (трет-бутокси)диметилиндий (CAS 6917-65-3, 98%), (изопропокси)диметилиндий (CAS 1237113-96-0, 98%), этоксидиэтилиндий (CAS 54702-73-7, 98%) и диметиламинодиметилиндий (98%) — MOCVD-прекурсоры для роста InN, InP, InGaN и других In-содержащих III-V полупроводников. Трис(изопропил)стибин (CAS 73300-45-5, 98%) — источник сурьмы для MOCVD GaSb, AlGaSb.

Прочие металлоорганические соединения: ферроценовые производные, борорганика и специальные комплексы

Ферроценовые производные

Бромферроцен (CAS 1273-73-0, 97%), 1,1′-дибромферроцен (CAS 1293-65-8, 97%), α-(N,N-диметиламино)этилферроцен (CAS 31904-34-4, 98%) и его оптические изомеры (R)- и (S)-формы — ключевые строительные блоки для синтеза хиральных ферроценовых лигандов и биоактивных металлоорганических молекул. Дихлор(1,1′-бис(дифенилфосфино)ферроцен)никель(II) (CAS 67292-34-6, 99%) — один из наиболее важных предкатализаторов для реакций Кумада (Kumada coupling). Натриевые соли циклопентадиенида и его алкильных производных (метил-, этил-, н-бутил- и др., концентрация 1,5–2,5 М в смеси растворителей) — реагенты для синтеза металлоценов in situ.

Производные ниобия, тантала, молибдена в виде хлоридных комплексов

Циклопентадиенилниобий(V)тетрахлорид (CAS 33114-15-7, 98%), циклопентадиенилтантал тетрахлорид (CAS 62927-98-4, 97%), циклопентадиенилмолибден(V)тетрахлорид (CAS 62927-99-5, 95%+) и бис(мезитилен)ниобий (CAS 68088-96-0, 98%+) — ключевые прекурсоры для синтеза полуметаллоценовых комплексов ниобия, тантала и молибдена. Тетрахлоробис(тетрагидрофуран)цирконий (CAS 21959-01-3, 98%+) и аналогичный Ti-комплекс (CAS 31011-57-1, 97%+) — удобные растворимые источники металла для синтеза в ТГФ-среде. Гафний(IV)трет-бутоксид (CAS 2172-02-3, 99%) и олово(IV)трет-бутоксид (CAS 36809-75-3, 97%) — алкоксидные прекурсоры для ALD оксидных плёнок.

Гексафениллизвинец, борорганические соединения

Дифенилцинк (CAS 1078-58-6, 98%) — реагент для арилцинкирования, применяется в реакциях Негиши. Гексафенилдисвинец (CAS 3124-01-4, 98%+) — специализированный реагент для синтеза свинецорганических производных. Бис(триметилсилокси)дихлорсилан (CAS 2750-44-9, 98%+), трис(триметилсилил)силан (CAS 1873-77-4, 97%+), 1-триметилсилил-1,2,4-триазол (CAS 18293-54-4, 98%) — кремнийорганические реагенты для синтеза. 4-Метоксифенилборная кислота (CAS 5720-07-0, 97%+) и фенилбордихлорид (CAS 873-51-8, 97%+) — борорганические строительные блоки для синтеза по Сузуки-Мияуре. Натрий тетраэтилборат (CAS 15523-24-7, 98%+) и натрий тетракис[3,5-бис(трифторметил)фенил]борат (NaBArF, CAS 79060-88-1, 98%) — слабокоординирующийся противоион для катионных металлоорганических комплексов.

Разное: Bis(TMS)амиды и специальные комплексы

Бис[бис(триметилсилил)амидо]марганец(II) (CAS 926-76-1, 98%), бис(бис(триметилсилил)амидо)стронций (CAS 131297-96-6, 98%) и его ТГФ-аддукт (CAS 133766-06-0, 97%), никель-бис(N,N’-диэтил-2,4-пентандикетиминат) (CAS 19963-57-6, 97%) и дихлор(диметоксиэтан)никель (CAS 29046-78-4, 98%) — реактивные металлоорганические и координационные соединения для синтеза и катализа. Германийорганические: бис(диметиламино)(N,N’-ди-трет-бутилэтилендиамино)герман (CAS 1373355-40-8, 98%), N,N’-ди-трет-бутилэтилендиамингерманийдихлорид (CAS 143970-59-6, 98%) и N,N’-ди-трет-бутилэтилендиаминогерманилен (CAS 143970-60-9, 98%) — диаминогерманиленовые реагенты для исследований низковалентной химии Ge(II). Трис(1-метокси-2-метил-2-пропокси)висмут (CAS 149101-11-1, 97%) и бис(N,N-диэтилдитиокарбамато)свинец(II) (CAS 17549-30-3, 98%) — специализированные прекурсоры для синтеза.

Органофосфорные соединения: фосфиновые лиганды для гомогенного катализа

Органофосфорные соединения — фосфины, бифосфины и N-гетероциклические карбеновые прекурсоры — определяют эффективность современного гомогенного катализа. Правильный выбор лиганда к металлическому центру катализатора позволяет управлять активностью, селективностью и функциональной совместимостью каталитической реакции.

Бифенилфосфиновые лиганды (серия Бухвальда)

Монофосфиновые лиганды на основе биарильного каркаса — серия «Бухвальдовских» лигандов — являются стандартом для палладий-катализируемых реакций кросс-сочетания (Сузуки, Хартвиг-Бухвальда C-N, C-O, C-S) и каталитического амидирования. В ассортименте:

• JohnPhos — 2-(ди-трет-бутилфосфино)бифенил (CAS 224311-51-7, 99%): мощный монодентатный лиганд для Pd-катализа;
• DavePhos — 2-дициклогексилфосфино-2′-(N,N-диметиламино)бифенил (CAS 213697-53-1, 98%): эффективен для амидирования и Сузуки с арилхлоридами;
• X-PHOS — 2-дициклогексилфосфино-2′,4′,6′-триизопропил-1,1′-бифенил (CAS 564483-18-7, 98%+): универсальный лиганд для кросс-сочетания с электроннонасыщенными субстратами;
• S-PHOS — 2-дициклогексилфосфино-2′,6′-диметокси-1,1′-бифенил (CAS 657408-07-6, ≥98%): для Сузуки с арилхлоридами при низкой каталитической нагрузке;
• RuPhos — 2-дициклогексилфосфино-2′,6′-диизопропокси-1,1′-бифенил (CAS 787618-22-8, 98%): для C-O сочетания и Сузуки;
• BrettPhos — 2-дициклогексилфосфино-2′,4′,6′-триизопропил-3,6-диметокси-1,1′-бифенил (CAS 1070663-78-3, 98%): для моноарилирования первичных аминов;
• t-BuBrettPhos, AdBrettPhos (98%) и t-BuXPhos (CAS 564483-19-8, ≥98%) — аналоги с повышенным стерическим объёмом для труднодоступных субстратов;
• tBuDavePhos (CAS 224311-49-3, 98%), MePhos (CAS 251320-86-2, 98%), RockPhos (CAS 1262046-34-3, 98%), Cphos (CAS 1160556-64-8, 98%), VPhos (CAS 1848244-75-6, 98%), JackiePhos (CAS 1160861-60-8, 98%) — специализированные лиганды Бухвальда для частных задач;
• BIPHEP — 2,2′-бис(дифенилфосфино)-1,1′-бифенил (CAS 84783-64-2, 98%): хелатный атропизомерный бидентатный лиганд для асимметрического катализа.

Хиральные бинафтильные бифосфиновые лиганды (BINAP)

Семейство BINAP — наиболее широко применяемых хиральных бидентатных лигандов для асимметрического гидрирования (Noyori), изомеризации и гидрокарбоксилирования:

• rac-, (R)-(+)- и (S)-(-)-BINAP — 2,2′-бис(дифенилфосфино)-1,1′-бинафтил (CAS 98327-87-8 / 76189-55-4 / 76189-56-5, 98–99%);
• rac-, (R)- и (S)-p-Tol-BINAP — 2,2′-бис(ди-п-толилфосфино)-1,1′-бинафтил (CAS 153305-67-0 / 99646-28-3 / 100165-88-6, 99%);
• rac-, (R)- и (S)-Xylyl-BINAP — 2,2′-бис(ди-(3,5-диметилфенил)фосфино)-1,1′-бинафтил (CAS 145416-77-9 / 137219-86-4 / 135139-00-3, 98%);
• rac-TrixiePhos — 2-(ди-трет-бутилфосфино)-1,1′-бинафтил (CAS 255836-67-0, 98%).

Хиральные фосфолановые лиганды (DuPhos, Ferrocelane)

Бидентатные фосфолановые лиганды для высокоэнантиоселективного гидрирования прохиральных субстратов: R,R-Me-DuPhos (CAS 147253-67-6, 98%), S,S-Me-DuPhos (CAS 136735-95-0, 98%), R,R-Me-Ferrocelane (CAS 540475-45-4, 97%) и S,S-Me-Ferrocelane (CAS 162412-87-5, 98%). Применяются в синтезе энантиочистых фармацевтических субстанций (аминокислоты, гидразины, ацетамиды).

Мостиковые бидентатные фосфиновые лиганды

Широкий ряд бидентатных фосфинов с разной длиной спейсера (DPPE, DPPP, DPPB, CHIRAPHOS, SKEWPHOS, NORPHOS, XANTPHOS, DPEPhos, TRIPHOS и др.) покрывает диапазон углов хелатирования от 74° до более 100°, что позволяет оптимизировать каталитическую систему под конкретный субстрат и реакцию:

• XANTPHOS (CAS 161265-03-8, 99%) и t-Bu-XANTPHOS (CAS 856405-77-1, 99%) — широкоугловые лиганды для гидроформилирования, телогенизации;
• DPEphos — бис(2-дифенилфосфинофенил)эфир (CAS 166330-10-5, 99%): для гидроформилирования н-алкенов с высокой линейной селективностью;
• NIXANTPHOS (CAS 261733-18-0, 98%+): для реакций с CO-вставкой и гидроформилирования;
• TRIPHOS — бис(2-дифенилфосфиноэтил)фенилфосфин (CAS 23582-02-7, 98%): трипода для синтеза трёхкоординированных комплексов;
• DMPE, DPPE, DCYPE и их аналоги — стандартные лиганды для исследований и синтеза комплексов различных металлов;
• (S,S)-CHIRAPHOS (CAS 64896-28-2, 99%), (R,R)-CHIRAPHOS (CAS 74839-84-2, 98%), (S,S)- и (R,R)-SKEWPHOS, (R,R)- и (S,S)-NORPHOS — хиральные бидентатные лиганды для асимметрического катализа.

Фосфинферроцены

Фосфинферроцены — хелатные лиганды с «встроенным» ферроценовым остовом, обеспечивающим большой угол хелатирования и хиральную ось: dppf (1,1′-бис(дифенилфосфино)ферроцен, CAS 12150-46-8, 99%), dCypF (1,1′-бис(дициклогексилфосфино)ферроцен, CAS 146960-90-9, 98%), dtbpf (1,1′-бис(ди-трет-бутилфосфино)ферроцен, CAS 84680-95-5, 98%), dippf (1,1′-бис(диизопропилфосфино)ферроцен, CAS 97239-80-0, 98%), 1,1′-бис(дихлорфосфино)ферроцен (CAS 142691-70-1, 98%), 1,1′-бис(фосфино)ферроцен (CAS 108280-65-5, 99%), дихлор(dppf)никель(II) (CAS 67292-34-6, 99%) — предкатализатор для Кумада-сочетания, ди-трет-бутилфосфинферроцен (CAS 223655-16-1, 98%) и его тетрафторборат (CAS 1017254-82-8, 98%), (S)-JOSIPHOS (CAS 137695-36-4, 97%) — хиральный монодентатный Josiphos-лиганд. dppf особенно распространён как лиганд к Pd и Ni в реакциях Кумада, Нэгиши и при карбонилировании. Также доступны бромо(фосфино)ферроцены для дальнейшей функционализации.

Монодентатные фосфины

Обширный ряд монодентатных триалкил- и триарилфосфинов: трициклогексилфосфин PCy₃ (CAS 2622-14-2, 98%), три-трет-бутилфосфин P(t-Bu)₃ (CAS 13716-12-6, 99%, также 10% в гексане), трифенилфосфин PPh₃ входит в число стандартных реагентов. Фторсодержащие: трис(п-фторфенил)фосфин (99%), трис(п-трифторметилфенил)фосфин (98–99%), трис(пентафторфенил)фосфин (98%) — сильные π-акцепторные лиганды для электрофильных металлических центров. Трис(триметилсилил)фосфин P(TMS)₃ (CAS 15573-38-3, 98%+, также 10% раствор в гексане) — нуклеофильный реагент для синтеза первичных фосфинов и фосфидов. Диарил- и диалкилфосфины: дифенилфосфин (CAS 829-85-6, 98–99%), дициклогексилфосфин (CAS 829-84-5, 98%), ди-трет-бутилфосфин (CAS 819-19-2, 98%+) и их аналоги — прекурсоры для синтеза несимметричных третичных фосфинов и хелатных лигандов. Специальные монодентатные фосфины для пиразольного каркаса: BippyPhos (CAS 894086-00-1, 98%), Cy-BippyPhos (CAS 1021176-69-1, 98%), Adamantyl-BippyPhos (CAS 1239478-87-5, 97%+) — эффективны в амидировании арилгалогенидов в сочетании с Pd₂(dba)₃.

Галогенфосфины и аминофосфины

Хлорфосфины — реагенты для синтеза третичных фосфинов: дициклогексилхлорфосфин (CAS 16523-54-9, 98%+), ди-трет-бутилхлорфосфин (CAS 13716-10-4, 98%+), дифенилхлорфосфин (входит в стандартный ассортимент), дихлор(циклогексил)фосфин (CAS 2844-89-5, 98%), ди-трет-бутилдихлорфосфин (CAS 25979-07-1, 98%) и широкий ряд бис(диарил)хлорфосфинов с разными заместителями (3,5-диметильные, 3,5-ди-трет-бутильные, 4-хлор-, 4-фтор-, 4-трифторметил-, 2-метокси- и другие арильные группы, адамантильные). Аминофосфины: бис(диэтиламино)хлорфосфин (CAS 685-83-6, 98%), бис(диметиламино)хлорфосфин (CAS 3348-44-5, 98%), бис(диизопропиламино)хлорфосфин (CAS 56183-63-2, 97%+), диэтиламинодихлорфосфин (CAS 1069-08-5, 99%), диметиламинодихлорфосфин (CAS 683-85-2, 98%), а также аминофосфорилхлориды. 2-(Диалкилфосфино)этиламины — хелатные P,N-лиганды: 2-(диизопропилфосфино)этиламин (CAS 1053657-14-9, 97%), 2-(дифенилфосфино)этиламин (CAS 4848-43-5, 97%), 2-(ди-трет-бутилфосфино)этиламин (CAS 1053658-84-6, 97%) и бис-версии этих лигандов.

Фосфониевые соли

Ди-трет-бутилметилфосфонийтетрафторборат (CAS 870777-30-3, 99%), ди-трет-бутилфенилфосфонийтетрафторборат (CAS 612088-55-8, 99%), н-бутил-ди-трет-бутилфосфонийтетрафторборат (CAS 1816254-91-7, 98%), три-трет-бутилфосфонийтетрафторборат (CAS 131274-22-1, 99%), трициклогексилфосфонийтетрафторборат (CAS 58656-04-5, 99%), триизопропилфосфонийтетрафторборат (CAS 121099-07-8, 99%) — удобные воздухостабильные предшественники объёмистых фосфинов для использования in situ в каталитических реакциях. Метилтрифенилфосфонийбромид (CAS 1779-49-3, 98%+) и тетрафенилфосфонийбромид (CAS 2751-90-8, 99%) — реагенты Виттига и осадители, соответственно. Комплексы никеля с бидентатными фосфинами: бис(1,2-дифенилфосфиноэтан)никель(II)хлорид (CAS 14647-23-5, 99%), бис(1,3-дифенилфосфинопропан)никель(II)хлорид (CAS 15629-92-2, 99%), бис(трифенилфосфин)никель(II)хлорид (CAS 14264-16-5, 99%), бис(трифенилфосфин)никель(II)бромид (CAS 14126-37-5, 99%) и бис(трициклогексилфосфин)никель(II)хлорид (CAS 19999-87-2, 99%) — готовые предкатализаторы для реакций Кумада, Хека, карбонилирования.

N-Гетероциклические карбеновые прекурсоры (соли имидазолия): лиганды NHC

N-Гетероциклические карбены (NHC) вытеснили традиционные фосфины в ряде применений благодаря более сильной σ-донорной способности, большей термической стабильности металл-NHC-связи и нечувствительности к окислению. Их прекурсоры — соли имидазолия и имидазолиния — широко применяются в синтезе металлокомплексных катализаторов для метатезиса олефинов и кросс-сочетания.

В ассортименте представлены следующие соли имидазолия: 1,3-ди-изопропилимидазолийхлорид (CAS 139143-09-2, 97%+), 1,3-ди-трет-бутилимидазолийхлорид (CAS 157197-54-1, 97%) и его тетрафторборат (CAS 263163-17-3, 97%), IMes·HCl — 1,3-бис(2,4,6-триметилфенил)имидазолийхлорид (CAS 141556-45-8, 95%+), IPr·HCl — 1,3-бис(2,6-диизопропилфенил)имидазолийхлорид (CAS 250285-32-6, 97%+). Солей имидазолиния (насыщенного имидазолия): SIMes·HBF₄ — 1,3-бис(2,4,6-триметилфенил)-4,5-дигидроимидазолийтетрафторборат (CAS 245679-18-9, 97%+), SIPr·HBF₄ — 1,3-бис(2,6-диизопропилфенил)-4,5-дигидроимидазолийтетрафторборат (CAS 282109-83-5, 97%+), SIMes·HCl (CAS 173035-10-4, 97%), SIPr·HCl (CAS 258278-25-0, 97%), 1,3-ди-трет-бутил-4,5-дигидроимидазолийхлорид (CAS 612825-69-1, 97%). IMes/SIMes и IPr/SIPr — стандартные лиганды для катализаторов Граббса 2-го и 3-го поколения, а также для Pd-катализаторов кросс-сочетания типа PEPPSI.

Синтетические интермедиаты и вспомогательные соединения

Для синтеза металлоценовых и металлоорганических комплексов в ассортименте представлены циклопентадиеновые производные: пентаметилциклопентадиен (CAS 4045-44-7, 98%+), тетраметил(н-пропил)циклопентадиен (CAS 64417-12-5, 97%), триметилсилилциклопентадиен (CAS 3559-74-8, 97%), триметилсилилпентаметилциклопентадиен (CAS 87778-95-8, 98%+), диэтилдициклопентадиен (CAS 307496-25-9, 99%), 1,3,5-три-трет-бутилциклопентадиен (CAS 125735-41-3, 98%), три-изопропилциклопентадиен (CAS 156764-63-5, 97%+, смесь изомеров), ди-трет-бутилциклопентадиен (CAS 120937-44-2, 98%, смесь изомеров), 1,3-бис(тетраметилциклопентадиенил)пропан (CAS 108344-77-0, 98%). β-Дикетоны как лиганды: TMHD — 2,2,6,6-тетраметилгептан-3,5-дион (CAS 1118-71-4, 98%), TMOD — 2,2,6,6-тетраметил-3,5-октандион (CAS 78579-61-0, 98%), 2,2,7-триметилоктан-3,5-дион (CAS 69725-37-7, 97%), 2,2-диметил-3,5-гександион (CAS 7307-04-2, 97%+). Хиральные биарилдиолы: rac-, (R)- и (S)-BIPHEN H₂ — 5,5′,6,6′-тетраметил-3,3′-ди-трет-бутил-1,1′-бифенил-2,2′-диол (99%) — ключевые строительные блоки для хиральных алюмоксановых и цирконоценовых катализаторов. PEDETA — 1,1,4,7,7-пентаэтилдиэтилентриамин (CAS 24426-21-9, 98%) — полидентатный амин-лиганд. 9,9-Диметилксантен (CAS 19814-75-6, 98%+) — строительный блок для XANTPHOS. Феноксазин (CAS 135-67-1, 97%+) — прекурсор NIXANTPHOS. 4,4′-Ди-трет-бутилбифенил (CAS 1625-91-8, 99%+) и 2,2′-дибромбифенил (CAS 13029-09-9, 98%+) — ключевые интермедиаты органического синтеза.

Формы поставки и практические особенности работы с металлоорганическими соединениями

Большинство диалкиламидных и металлоценовых соединений — жидкости или легкоплавкие твёрдые вещества, чувствительные к воздуху и влаге. Работа с ними требует использования техники Шленка, перчаточного бокса или вакуумной линии. β-Дикетонаты большинства металлов более устойчивы на воздухе и поставляются в стандартной упаковке с инертным газом.

Фосфиновые лиганды (особенно третичные триалкилфосфины) окисляются на воздухе — хранение и работа в атмосфере инертного газа обязательны. Трет-бутил- и изопропилфосфины наиболее чувствительны. Многие фосфины доступны в виде растворов в гексане (5–20 масс.%) для удобства дозирования в каталитических применениях. Фосфониевые соли и соли имидазолия — стабильные на воздухе твёрдые вещества, удобные для хранения и транспортировки.

По вопросам технических характеристик, доступного количества, условий поставки и хранения конкретных соединений — обращайтесь к нашим специалистам. Поставка осуществляется по заявкам с указанием CAS-номера и необходимого количества.