Мишени из молибдена и вольфрама

Мишени из молибдена и вольфрама — диски, пластины и плиты из компактного металла, которые распыляют в вакуумной установке магнетронного напыления, чтобы нанести на изделие тонкую металлическую плёнку. Молибденовые плёнки служат, в частности, тыльным контактом тонкоплёночных солнечных элементов на основе CIGS (селенида меди, индия и галлия); вольфрамовые применяют в микроэлектронике. Оба металла тугоплавкие и проводят ток, поэтому их распыляют магнетроном на постоянном токе. Поставляем мишени из молибдена и вольфрама по размерам и чертежам заказчика; запросы — на 5052082@mail.ru.

Молибден и вольфрам как материал мишени

Свойство	Молибден	Вольфрам
Температура плавления	2623 °C	3422 °C
Поведение на воздухе при нагреве	окисляется с 300–400 °C, выше 600 °C — быстро	при красном калении окисляется

У вольфрама самая высокая температура плавления среди металлов. Поликристаллический вольфрам твёрд и хрупок, поэтому вольфрамовую мишень обрабатывают и закрепляют аккуратно.

Молибденовые плёнки: тыльный контакт солнечных элементов

В тонкоплёночных солнечных элементах на основе CIGS на подложку сначала наносят слой молибдена, обычно магнетронным распылением. Он служит тыльным контактом и отражает непоглощённый свет обратно в поглощающий слой; поверх молибдена выращивают слой CIGS.

Исследования напыления молибдена магнетроном постоянного тока показывают, что свойства плёнки задают давление рабочего газа и мощность разряда. При подобранных режимах получают плёнки с удельным сопротивлением менее 1·10⁻⁴ Ом·см и контактным сопротивлением к слою CIGS менее 0,3 Ом·см² — такие плёнки пригодны для тыльного контакта.

Вольфрамовые плёнки в микроэлектронике

В интегральных схемах вольфрам применяют как материал межсоединений — между диэлектриком из диоксида кремния и транзисторами. Свойства распылённых вольфрамовых плёнок зависят от режима: в плёнках часто образуется метастабильная β-фаза вольфрама вместо равновесной объёмноцентрированной, и её доля зависит от напряжения смещения и температуры подложки, давления и остаточных газов в камере. Режим напыления поэтому подбирают под требуемую структуру и сопротивление плёнки.

Как идёт распыление

Мишень — катод магнетрона. Ионы аргона выбивают из неё атомы металла, и они оседают на подложке. Молибден и вольфрам — проводники, поэтому их распыляют на постоянном токе; высокочастотное питание, нужное для диэлектриков, не требуется. По мере работы на мишени выгорает зона эрозии над магнитами; мишень меняют, когда канавка приближается к основанию.

Формы мишеней

• круглые диски — для лабораторных и малых магнетронов;
• прямоугольные плиты — для планарных магнетронов линий нанесения покрытий;
• мишени, напаянные на медное основание, или без основания.

Чистоту металла, размеры, допуски и тип основания согласуют по чертежу. Мишени из других материалов — на страницах «Мишени из хрома» и «Графитовые мишени»; прокат — в разделах «Молибденовый прокат» и «Вольфрамовый прокат».

Что указать в заявке

• металл: молибден или вольфрам, требуемую чистоту;
• форму и размеры: диаметр или длину и ширину, толщину, допуски;
• нужна ли напайка на медное основание, его чертёж;
• модель распылителя или чертёж посадочного места;
• количество.

Вопросы и ответы

Можно ли распылять молибден и вольфрам на постоянном токе?

Да. Оба металла проводят ток, поэтому их распыляют магнетроном постоянного тока в аргоне.

Для чего нужны молибденовые плёнки в солнечных элементах?

В элементах на основе CIGS слой молибдена служит тыльным контактом и отражает непоглощённый свет обратно в поглощающий слой.

Почему вольфрамовая мишень требует аккуратного обращения?

Поликристаллический вольфрам твёрд и хрупок, поэтому вольфрамовую мишень обрабатывают и закрепляют аккуратно.

Заказать мишени из молибдена и вольфрама

Пришлите на 5052082@mail.ru металл, размеры или чертёж и количество — подготовим предложение со сроками.