Изготовим эпитаксиальные кремниевые пластины различных типов и размеров.

   КЭС – кремниевые пластины с электропроводностью электронного типа, покрытые слоем сурьмы. Применяются как проводящие и полупроводящие кремниевые пластины для производства микроэлектроники. Проводящие пластины КЭС стандартно производятся в размерном диапазоне 40-200 мм в диаметре на 250-400 мкм. Полупроводящие подложки КЭС могут состоять из двух или трех слоев:

— кремний с электропроводимостью r-типа;

— низкоомная прослойка кремния n-типа;

— эпитаксиальный слой химического элемента, наносимого газом.

   Кремниевые пластины для обработки покрываются 1-2 прослойками легирующего материала способом выращивания из газовой фазы на монокристаллические кремниевые пластины.

   Виды эпитаксиальных подложек:

 — простые;

 — многослойные;

 — гетероэпитаксиальные.

   Кремниевые пластины для микроэлектроники вырабатываются из слитков, полученных методом Чохральского (способ зонной плавки). При технологии сверхточной резки и обработки лицевая сторона пластины достигает 14 класса «чистоты», обратная сторона – 12 класса.

   Полупроводниковые кремниевые пластины маркируются следующим образом. Первая буква указывает на исходный материал, основу (K – кремний, Г – германий и т.д.). Вторая буква определяет вид электропроводимости (Э – электронная, Д — дырочная). Далее указываются добавляемые элементы (Б – бор, С – сурьма, Ф – фосфор, З — золото). В названии марки указывается так же цифровое значение — номинальное удельное сопротивление. Эпитаксиальные кремниевые пластины выпускаются 15ти классов со значением удельного сопротивления от 0,005 до 2000 Ом на сантиметр.

   Кремниевые пластины для микросхем производятся следующих популярных марок – КЭС, КБД, КЭМ. Кремниевые пластины КДБ расшифровываются как (К) кремний, (Д) класс электропроводимости дырочный и вид примеси бор (Б). Кремниевые пластины КЭФ имеют в структуре эпитаксиальный слой фосфора.

   По типу поверхностного слоя полупроводниковые кремниевые пластины делятся на:

— резаные подложки;

— полированные кремниевые пластины;

— шлифованные пластины.

   Удельное сопротивление различных типов кремния – 0,001 – 10 тысяч Ом на см.

Установленные стандарты ГОСТ и ТУ для кремниевых эпитаксиальных пластин:

— Р ИСО 9001-2008;

— ETO 035 578ТУ;

— ETO 035 124ТУ.

   Кремниевые пластины полированные имеют следующие «ходовые» габариты по размерам и толщине пластин:

— 60 мм на 350 мкм;

— 76 мм на 380 — 500 мкм;

— 100 мм на 460 — 600 мкм;

— 150 мм на 675 мкм;

— 200 мм на 900 мкм.

   На кремниевые пластины цена зависит от типа, размеров, количества. Мы продаем кремниевые пластины не первый год, на счету компаний довольных клиентов. На реализуемыпе нами кремниевые пластины стоимость идеально соотносится с качеством!

   Купить кремниевые пластины в Москве просто, достаточно связаться с нашими менеджерами. Диски расфасованы в кассеты по 25 пластин и упакованы в герметичные пакеты. Будем рады сотрудничеству.