Триэтилиндий (TEIn)
- от объёма, заполните заявку
Триэтилиндий (TEIn, In(C2H5)3) — металлоорганическое соединение индия, применяемое как альтернативный прекурсор индия в технологии МОС-гидридной эпитаксии (MOCVD/MOVPE). Представляет собой бесцветную пирофорную жидкость. В отличие от триметилиндия (TMIn), который является твёрдым веществом при комнатной температуре, TEIn остаётся жидким (т. пл. −32 °C), что принципиально упрощает его дозирование и подачу в реактор. Несмотря на технологические преимущества, триэтилиндий существенно менее доступен на рынке и используется главным образом в исследовательских целях.
Физико-химические свойства триэтилиндия
Триэтилиндий — мономерное соединение в газовой фазе с тригональной плоской геометрией молекулы. Как и другие триалкилы индия, TEIn является умеренной кислотой Льюиса. Этильные лиганды обеспечивают более высокую молекулярную массу и более низкое давление паров по сравнению с TMIn.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Химическая формула | In(C2H5)3 |
| Номер CAS | 923-34-2 |
| Молекулярная масса | 202,01 г/моль |
| Температура плавления | −32 °C |
| Температура кипения | 184 °C |
| Плотность при 20 °C | 1,260 г/см³ |
| Агрегатное состояние (20 °C) | Бесцветная жидкость |
| Пирофорность | Самовоспламеняется на воздухе |
| Растворимость | Растворим в углеводородных растворителях; реагирует с водой |
Давление паров триэтилиндия
Давление паров TEIn ниже, чем у TMIn при одинаковой температуре, что обусловлено более высокой молекулярной массой этильных лигандов. Зависимость описывается уравнением:
log P(Торр) = 8,94 − 2815 / T(K)
| Температура | TEIn, Торр | TMIn, Торр |
|---|---|---|
| 25 °C (298,15 K) | ≈ 0,6 | ≈ 1,7 |
| 40 °C (313,15 K) | ≈ 1,8 | ≈ 5,2 |
| 60 °C (333,15 K) | ≈ 7 | ≈ 17 |
Применение триэтилиндия
TEIn используется в качестве альтернативы TMIn в MOCVD-процессах, где его жидкое состояние при комнатной температуре является принципиальным преимуществом. Применение включает:
Осаждение InP, InGaAs, InGaN. TEIn может заменять TMIn во всех основных процессах осаждения индийсодержащих полупроводников. Жидкое агрегатное состояние обеспечивает стабильную и воспроизводимую подачу в отличие от твёрдого TMIn, где возможно каналообразование и неравномерная сублимация.
Химическая эпитаксия пучком (CBE). В процессах CBE (Chemical Beam Epitaxy) предпочтительны жидкие прекурсоры, поскольку система подачи работает в условиях сверхвысокого вакуума. TEIn обеспечивает более стабильный поток по сравнению с TMIn.
Атомно-слоевое осаждение (ALD). TEIn применяется в ALD-процессах для осаждения In2O3 и InN.
Преимущества TEIn перед TMIn
| Параметр | TMIn — In(CH3)3 | TEIn — In(C2H5)3 |
|---|---|---|
| Агрегатное состояние | Твёрдое (порошок) | Жидкое |
| Стабильность подачи | Проблемы: каналообразование, ~10% отходы | Стабильная, полный расход |
| Механизм разложения | Преимущественно гомолиз | β-гидридное элиминирование + гомолиз |
| Загрязнение углеродом | Выше | Ниже |
| Коммерческая доступность | Широкая | Ограничена |
| Цена | Стандартная | Значительно выше |
Несмотря на технологические преимущества жидкого состояния и пониженное загрязнение углеродом, TEIn остаётся нишевым продуктом из-за ограниченной коммерческой доступности и более высокой цены по сравнению с TMIn.
Безопасность при работе с триэтилиндием
Пирофорность. TEIn самовоспламеняется на воздухе. Продукты горения: оксид индия (In2O3), CO, CO2. Тушение — сухими порошковыми средствами, песком. Вода запрещена.
Реакция с водой. Бурная экзотермическая реакция с выделением этана.
Токсичность. Жидкость вызывает химические ожоги. Пыль оксида индия раздражает дыхательные пути и слизистые. Работа допускается исключительно в герметичных системах под инертной атмосферой с полным комплектом СИЗ.
Формы поставки триэтилиндия
TEIn поставляется в стальных баллонах с электрополированной внутренней поверхностью, заполненных инертным газом. Типовые фасовки — от нескольких граммов до нескольких сотен граммов. Каждая партия сопровождается сертификатом анализа (CoA). Транспортировка — UN 3394, класс 4.2, группа упаковки I.
Подробнее о других материалах на основе индия — на соответствующей странице сайта.
Сплавы различного применения
1925hMo · B 265 Grade 25 · Guronit MA 26/6 · TR28H/C Class 1 · SNi1067 · A 789 (S 32707) · 4700C · 99.3Cu-.7Al(2)O(3) · CuAl9Fe4Ni4Mn2 · QSn1-0.5-0.5 · GH747 · CuAl9Y80 · 5243-07 · NiMn2ROE · GD-ZnAl4Cu1 · A5.10 (ER4043A) · A3003BES
