Запрашивайте поликристаллический кремний заявкой!

Поликристаллический кремний (поликремний) — высокочистый полуфабрикат, состоящий из множества кристаллитов кремния с произвольной ориентацией. Это наиболее чистая форма промышленно производимого кремния, используемая как сырьё для выращивания монокристаллического кремния методом Чохральского или зонной плавки.

Поликремний применяется в полупроводниковой промышленности, микроэлектронике и солнечной энергетике для производства интегральных схем, транзисторов, диодов и фотоэлектрических элементов.

Марка КП0 по ТУ 48-4-319-91

Поликристаллический кремний марки КП0 — материал электронной чистоты, предназначенный для производства монокристаллов полупроводникового качества.

Химический состав и чистота

Контроль примесей бора и фосфора критичен, так как эти элементы являются электрически активными легирующими примесями и влияют на тип проводимости кремния.

Физические свойства поликремния

Технология производства поликристаллического кремния

Производство поликремния осуществляется методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) по процессу Сименса — промышленному стандарту для высокочистого кремния.

Этапы производства

1. Получение технического кремния

Кварцевый песок (SiO₂) восстанавливается углеродом в дуговых электропечах при температуре 2000–2100°C. Получаемый технический кремний имеет чистоту около 98%.

2. Синтез трихлорсилана

Технический кремний реагирует с хлороводородом (HCl) при 300–500°C с образованием трихлорсилана (SiHCl₃). Трихлорсилан очищается многократной ректификацией до уровня примесей менее 1 ppb.

3. Осаждение в реакторе Сименса

Очищенный трихлорсилан разлагается на нагретых кремниевых затравках при 1000–1100°C:

SiHCl₃ + H₂ → Si + 3HCl

На затравках формируются поликристаллические стержни диаметром 80–140 мм.

Производственные особенности

• Энергоёмкость процесса Сименса: 80–120 кВт·ч/кг
• Побочные продукты (HCl, SiCl₄) регенерируются в замкнутом цикле
• Производство ведётся в чистых помещениях класса ISO 4
• Используется трихлорсилан электронной чистоты

Контроль качества поликремния

Методы анализа высокочистого поликристаллического кремния:

Применение поликристаллического кремния

Полупроводниковая промышленность

Поликремний — исходное сырьё для выращивания монокристаллических слитков кремния с ориентацией [100] или [111]. Из монокристаллов изготавливаются:

• Интегральные схемы и микропроцессоры
• Дискретные полупроводниковые приборы (транзисторы, диоды)
• Эпитаксиальные структуры
• Подложки для СБИС

Солнечная энергетика

Поликремний используется для производства:

• Мультикристаллических слитков для солнечных элементов
• Фотоэлектрических преобразователей

Для солнечной энергетики допускается кремний с чистотой 5N–6N (solar grade), для электроники требуется 9N–11N (electronic grade).

MEMS и сенсорика

Поликремниевые плёнки применяются как конструкционный материал в микроэлектромеханических системах (MEMS) и в качестве подложек для чувствительных элементов.

Формы поставки

Упаковка и хранение

Требования к упаковке и хранению поликристаллического кремния:

• Герметичные пакеты из полиэтилена или фторопласта
• Атмосфера азота чистотой 99,999%
• Операции в чистых помещениях класса ISO 5
• Срок хранения: до 12 месяцев

Соблюдение условий хранения исключает контаминацию поверхности и окисление материала.

Условия поставки

Поликристаллический кремний КП0 по ТУ 48-4-319-91 поставляется под заказ. При заказе указывается: марка, форма поставки, масса партии, требования к упаковке.