Кремний монокристаллический (монокремний)

Поставляем полный ассортимент монокристаллических кремниевых пластин (подложек, вафель) и слитков по действующему ГОСТ 19658-81 и отраслевым ТУ. Материал получают методом Чохральского или бестигельной зонной плавки из сырья с содержанием Si более 99,999%.

Кремниевые пластины, марки и характеристики

Изготавливаем кремниевые пластины следующих маркировок:

Диаметр 76 мм:
76ЭКДБ0,05(111)-1000 1ас ЕТО.035.245ТУ
76ЭКЭС0,01(111)4-380
76КЭФ7,5(100)-380 ЕТО.035-124ТУ
76КЭФ4,5(100)-380 ЕТО.035-124ТУ
76КЭФ1,0(111)4-380 ЕТО.035-124ТУ
76КЭФ0,3(111)380 а2ц ЕТ0.035.124ТУ
76КДБ10(111)4-380
76КДБ10(111)-380 ЕТО.035-121ТУ
75КДБ10 — толщина 390, 430, 490 мкм

Диаметр 100 мм:
100ЭКЭФ20(100)-460 23вм ЕТО.035.578ТУ
100ЭКЭС0,01(111)4-460 ЕТО.035.206ТУ
100ЭКЭС0,01(100)-460 ЕТО.035.206ТУ
100ЭКДБ20(100)-500 6в ЕТО.035.206ТУ
100КЭФ7,5(100)-460 ЕТО.035.206ТУ
100КЭФ4,5(111)4-460 ЕТО.035.206ТУ
100КЭФ4,5(100)-650, -525, -460
100КЭФ3(100)-525
100КЭМ0,003(100)
100КДБ40(100)-460 2а2 ЕТО.035.206ТУ
100КДБ20(100)-460
100КДБ12(100)-525, -460
100КДБ10(111)4-460, -490
100КДБ0,03(111)4-460
100КДБ0,005(111)4-420

Диаметр 125–150 мм:
125КДБ7,5(100) псевдоквадрат 125×125 мм, толщина 240 мкм
125КДБ12(100)0 псевдоквадрат 125×125 мм, двусторонняя шлифовка, толщина 695–715 мкм
150КЭФ4,5(100)-625
150КДБ7,5(100)-240 псевдоквадрат 150×150 мм
150КДБ10(111)4-675
150КДБ0,005(111)4-625

Марки монокристаллического кремния по ГОСТ 19658-81

Эпитаксиальный кремний

ЭКДБ — эпитаксиальный кремний дырочного типа (p-тип), легированный бором. Группы 1–8 с подгруппами а–д по диаметру (62,5/78,5/102,5/127,5/152,5 мм). Удельное электрическое сопротивление (УЭС) 0,005–80 Ом·см, базовая длина слитков 100–250 мм.

ЭКЭС — эпитаксиальный кремний электронного типа (n-тип), легированный сурьмой. Группы 11–12 с УЭС 0,01–1 Ом·см для низкоомных применений.

ЭКЭФ — эпитаксиальный кремний электронного типа (n-тип), легированный фосфором. Группы 21–26 с подгруппами а–д, УЭС 0,1–40 Ом·см.

Кремний по типу легирования

КДБ — кремний дырочного типа, легированный бором. Расшифровка маркировки: 100КДБ10(100)-160, где 100 — диаметр в мм, 10 — УЭС в Ом·см, (100) — кристаллографическая ориентация, 160 — толщина в мкм.

КЭФ — кремний электронного типа, легированный фосфором, с УЭС 0,005–2000 Ом·см.

КЭС — кремний электронный, легированный сурьмой.

КЭМ — кремний электронный, легированный мышьяком. Марки КЭМ-0,003 и КЭМ-0,004 с плотностью дислокаций менее 10³ см⁻².

Кремний моносилановый КМД

Кремний моносилановый выпускается шести марок: КМД-1, КМД-2, КМД-3, КМД-4, КМД-5, КМД-6. Расшифровка: К — кремний, М — моносилановый, Д — дырочный тип, цифра — УЭС в кОм·см. Характеристики: плотность дислокаций 5·10⁴ см⁻², содержание кислорода менее 2·10¹⁶ см⁻³.

Кремний для силовых приборов

Кремний для силовых вентилей выпускается одиннадцати марок: КЭ2А, КЭ2Б, КЭ2В, КЭ2Г, КЭ2Д (электронный тип) и БКЭ2А, БКЭ2Б, БКЭ2В, БКЭ2Г, БКЭ2Д, БКД2Е (бездислокационный). Диапазоны УЭС:

• КЭ2А, БКЭ2А — 26–45 Ом·см
• КЭ2Б, БКЭ2Б — промежуточный диапазон
• КЭ2В, БКЭ2В — 40–75 Ом·см
• КЭ2Г, БКЭ2Г — 50–140 Ом·см
• КЭ2Д, БКЭ2Д — от 100 Ом·см
• БКД2Е — 500–2000 Ом·см

Плотность дислокаций менее 5·10⁴ см⁻².

Кремний общего назначения

Кремний общего назначения выпускается 15 групп с диапазонами УЭС (Ом·см):

• Группа 1А — 1–15; 1Б — 1–20
• Группа 2А — 15–25; 2Б — 25–45; 2В — 40–75; 2Г — 50–140; 2Д — 100–250; 2Е — 500–2000
• Группа 3А — 0,005–1,0; 3Б — 0,008–1,0; 3В — 0,005–0,1
• Группа 4А — 0,02–0,2
• Группа 5А — 3–18; 5Б — 20–40; 5В — 40–120

Легирующие элементы: фосфор, бор, сурьма, алюминий или фосфор с золотом.

Параметры кремниевых пластин и слитков

Кристаллографическая ориентация

• (111) — стандартная ориентация, индекс «м»
• (100) — для МОП/КМОП-технологий, индекс «м»
• (013) — индекс «э» для слитков с УЭС 1–15 Ом·см
• (110), (211) — специальные ориентации

Диаметры слитков

Номинальные диаметры: Ø60, Ø62,5, Ø76, Ø78,5, Ø100, Ø102,5, Ø125, Ø127,5, Ø150, Ø152,5 мм. Допуски: ±0,5 мм (индекс «к₁») или ±0,1 мм (индекс «к₂»).

Толщина пластин

Диапазон толщин 160–650 мкм. Типовые значения: Ø100 мм — 500–550 мкм, Ø125 мм — 600–650 мкм. Допуски по неплоскостности 50–60 мкм, геометрическому прогибу 60–70 мкм.

Качество поверхности

• Шлифованные (Ш)
• Полированные (П)
• Химико-механически полированные (ХМП)
• Односторонне полированные (ОП)
• Двусторонне полированные (ДП)
• Травлёные (Т)

Требования к дефектности

Бездислокационные слитки с плотностью дислокаций не более 1·10² см⁻² по ГОСТ. Плотность микродефектов: не более 2·10⁵ см⁻² для ориентации (100)/(013) (индекс «с₁»), не более 3·10⁵ см⁻² для (111) (индекс «с₂»). Материал без свирлевых дефектов.

Содержание примесей

Концентрация оптически активного кислорода (2–10)·10¹⁷ см⁻³. Углерод — не более 1·10¹⁷ см⁻³ для диаметров Ø78,5 мм и более. Микропримеси Fe, Au, Cu — не более 1·10¹⁶ см⁻³.

Время жизни неосновных носителей заряда

Не менее 7,5 мкс для n-типа и 2,5 мкс для p-типа. Дополнительные индексы: «е» (2–160 мкс), «р» (16–60 мкс).

Монокремний в слитках

Поставляем слитки монокристаллического кремния следующих маркировок:

Слитки 3А1кц КДБ:
3А1кц КДБ 0,005 — Ø76, ориентации (100), (111)
3А1кц КДБ 0,03 — Ø76, (111)

Слитки 3А3к КДБ:
3А3к КДБ 0,005 — Ø60, Ø76, (111)
3А3к КДБ 4,5 — Ø100, (111)
3А3к КЭФ 4,5 — Ø76, (111)

Слитки КДБ: УЭС от 0,01 до 20 Ом·см, диаметры Ø37,5–Ø60 мм, ориентация (111).

Слитки КЭФ: УЭС от 0,008 до 40 Ом·см, диаметры Ø37,5–Ø76 мм, ориентация (111).

Подробнее о монокристаллическом кремнии.

Поликоровые подложки ВК-100-1

Поставляем поликоровые подложки ВК-100-1:

• 30×48×1,0 мм — односторонняя и двусторонняя полировка
• 30×24×1,0 мм — односторонняя и двусторонняя полировка
• 60×48×0,5 мм — односторонняя полировка

Технология получения монокремния

Монокристаллический кремний представляет собой цилиндрические слитки, получаемые методом Чохральского или бестигельной зонной плавки. Кристаллы выращивают путём вытягивания затравки вверх из расплава. На слитки, выращенные методом Чохральского, распространяется ГОСТ 19658-81.

Слитки изготавливают дырочной (Д) и электронной (Э) электропроводности, легированные фосфором (Ф), бором (Б), сурьмой (С), а также бездислокационные. Нормируемые параметры: химический состав, удельное электросопротивление, номинальный диаметр (62,5–152,5 мм), базовая длина 100–250 мм.

Каждый слиток контролируют по удельному электрическому сопротивлению, типу электропроводности, массе, длине и диаметру. Обработка ведётся алмазным или карбид-кремниевым инструментом. Полученные слитки разрезают на пластины для изготовления интегральных схем, солнечных батарей, мембранных фильтров методами фотолитографии и эпитаксии.

Условия поставки

Осуществляем поставки монокристаллического кремния в пластинах и слитках по всей России. Возможна поставка готовых пластин с базовыми срезами (основной срез 30–45 мм, дополнительный 16–30 мм в зависимости от диаметра) или слитков для последующей резки.

Регламент: ГОСТ 19658-81, ТУ 48-4-295-82 и отраслевые ТУ.

Для получения коммерческого предложения направьте заявку с указанием марки, ориентации, диаметра, толщины и количества.