Триметилиндий
- от объёма, заполните заявку
Укажите в заявке требуемое количество триметилиндия!
Триметилиндий (TMI) — металлоорганическое соединение (МОС) индия с химической формулой In(CH₃)₃. В полупроводниковой промышленности вещество является основным прекурсором для получения эпитаксиальных слоев. Благодаря высокой летучести и возможности глубокой очистки, TMI обеспечивает точное управление составом и скоростью роста наноструктур.
Физико-химические характеристики
В отличие от большинства других алкильных металлоорганических соединений, триметилиндий при нормальных условиях представляет собой твердое кристаллическое вещество белого цвета. Это обуславливает специфику его использования в системах подачи газов.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Молярная масса | 159,93 г/моль |
| Температура плавления | 88,4 – 89,8 °C |
| Температура кипения | 135,8 °C (экстраполяция) |
| Давление насыщенного пара (20 град.) | ~1,5 – 1,7 мм рт. ст. |
| Плотность | 1,568 г/см³ |
Реакционная способность и стабильность
Соединение обладает высокой пирофорностью — самовоспламеняется на воздухе. Крайне агрессивно реагирует с водой и кислородсодержащими соединениями, что требует использования систем очистки инертных газов-носителей до высокого уровня. Термический распад начинается при температурах выше 180 °C, что делает его эффективным для низкотемпературных процессов выращивания кристаллов.
Применение в процессах эпитаксии (MOCVD/MOVPE)
Триметилиндий является ключевым компонентом в технологии металлоорганического газофазного осаждения (MOCVD). В реакторе пары TMI смешиваются с гидридами (например, фосфином или арсином), где происходит их термическое разложение и формирование твердого раствора на подложке.
Целевые полупроводниковые структуры:
- InP (Фосфид индия): базовая платформа для высокочастотной электроники.
- InGaN / AlInGaN: активные слои синих и зеленых светодиодов (LED), а также лазерных диодов.
- InGaAs / InGaAsP: материалы для фотоприемников и телекоммуникационных лазеров (длины волн 1,3–1,55 мкм).
- InSb (Антимонид индия): материалы для чувствительных ИК-сенсоров.
Требования к чистоте и контроль качества
Для электронной промышленности критически важно отсутствие примесей металлов группы (Zn, Cd, Si, Mg) и кислорода. Современные стандарты производства предусматривают чистоту уровня 6N (99,9999%) и выше. Аналитический контроль осуществляется методами ICP-MS (масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой) для регистрации следовых количеств примесей.
Техника безопасности и транспортировка
Согласно международной классификации и ГОСТ, триметилиндий относится ко 2-му классу опасности (высокоопасные вещества). Ключевые меры безопасности ниже.
- Хранение: в специализированных контейнерах (бубблерах) из нержавеющей стали с электрополированной внутренней поверхностью.
- Атмосфера: только в среде сверхчистого аргона или азота.
- Транспортировка: осуществляется в соответствии с правилами перевозки опасных грузов (класс 4.2 — самовозгорающиеся вещества).
Условия поставки
Продукция поставляется в емкости заказчика. Комплектация включает паспорт качества с результатами элементного анализа.
Марки сплавов в нашем ассортименте
B 517 (N 06045) · ФВ70(а) · 5044 · YS308N2 · B 574 (N06210) · 7039 · CF125C · ЭК102 · B 745 (2014) · A 480 (S 32760) · 191 · E3155-XX · SF A5.22 (E312TX-X) · M-AlSi12 · 4911L · E Ni 6002 · J463 (C 51100)
