Укажите в заявке требуемое количество триметилиндия!

Триметилиндий (TMI) — металлоорганическое соединение (МОС) индия с химической формулой In(CH₃)₃. В полупроводниковой промышленности вещество является основным прекурсором для получения эпитаксиальных слоев. Благодаря высокой летучести и возможности глубокой очистки, TMI обеспечивает точное управление составом и скоростью роста наноструктур.

Физико-химические характеристики

В отличие от большинства других алкильных металлоорганических соединений, триметилиндий при нормальных условиях представляет собой твердое кристаллическое вещество белого цвета. Это обуславливает специфику его использования в системах подачи газов.

Реакционная способность и стабильность

Соединение обладает высокой пирофорностью — самовоспламеняется на воздухе. Крайне агрессивно реагирует с водой и кислородсодержащими соединениями, что требует использования систем очистки инертных газов-носителей до высокого уровня. Термический распад начинается при температурах выше 180 °C, что делает его эффективным для низкотемпературных процессов выращивания кристаллов.

Применение в процессах эпитаксии (MOCVD/MOVPE)

Триметилиндий является ключевым компонентом в технологии металлоорганического газофазного осаждения (MOCVD). В реакторе пары TMI смешиваются с гидридами (например, фосфином или арсином), где происходит их термическое разложение и формирование твердого раствора на подложке.

Целевые полупроводниковые структуры:

• InP (Фосфид индия): базовая платформа для высокочастотной электроники.
• InGaN / AlInGaN: активные слои синих и зеленых светодиодов (LED), а также лазерных диодов.
• InGaAs / InGaAsP: материалы для фотоприемников и телекоммуникационных лазеров (длины волн 1,3–1,55 мкм).
• InSb (Антимонид индия): материалы для чувствительных ИК-сенсоров.

Требования к чистоте и контроль качества

Для электронной промышленности критически важно отсутствие примесей металлов группы (Zn, Cd, Si, Mg) и кислорода. Современные стандарты производства предусматривают чистоту уровня 6N (99,9999%) и выше. Аналитический контроль осуществляется методами ICP-MS (масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой) для регистрации следовых количеств примесей.

Техника безопасности и транспортировка

Согласно международной классификации и ГОСТ, триметилиндий относится ко 2-му классу опасности (высокоопасные вещества). Ключевые меры безопасности ниже.

• Хранение: в специализированных контейнерах (бубблерах) из нержавеющей стали с электрополированной внутренней поверхностью.
• Атмосфера: только в среде сверхчистого аргона или азота.
• Транспортировка: осуществляется в соответствии с правилами перевозки опасных грузов (класс 4.2 — самовозгорающиеся вещества).

Условия поставки

Продукция поставляется в емкости заказчика. Комплектация включает паспорт качества с результатами элементного анализа.