Кремниевые резистивные сплавы РС

Кремниевые резистивные сплавы РС — порошки сплавов кремния с хромом, никелем, железом, вольфрамом или кобальтом для вакуумно-термического нанесения тонкоплёночных резистивных элементов и вспомогательных слоёв изделий электронной техники. Требования к ним задаёт ГОСТ 22025-76 «Сплавы кремниевые резистивные. Технические условия»: марки РС-5406, РС-5402, РС-4800, РС-4400, РС-3710, РС-3001, РС-1714 и РС-1004. Поставляем порошки сплавов РС в фасовке от 50 г и мишени из них по чертежу; запросы — на 5052082@mail.ru.

Марки и химический состав по ГОСТ 22025-76

Цифры в марке — номинальное содержание двух легирующих компонентов: в РС-3710 около 37 % хрома и 10 % никеля, в РС-5406 — 54 % хрома и 6 % кобальта. Остальное в сплаве — кремний.

Марка	Хром, %	Никель, %	Железо, %	Вольфрам, %	Кобальт, %
РС-5406	52,5–55,5	—	—	—	4,5–7,5
РС-5402	52,5–55,5	—	1,0–3,0	—	—
РС-4800	47,0–49,0	—	—	—	—
РС-4400	42,5–45,5	—	—	—	—
РС-3710	36,5–39,5	8,0–11,0	—	—	—
РС-3001	28,0–32,0	—	0,7–1,8	—	—
РС-1714	16,5–18,5	—	13,0–15,0	23,0–27,0	—
РС-1004	—	9,0–12,0	3,0–6,0	—	—

Примеси газов и углерода ограничены у всех марок, кроме РС-1714: азот — не более 0,02 %, водород — 0,003 %, кислород — 0,30 %, углерод — 0,06 %. У РС-1714 своя норма: водород — 0,005 %, кислород — 0,60 %, углерод — 0,05 %, алюминий — 0,20 %, медь — 0,01 %.

Фракции порошка

Сплавы выпускают в виде порошков тёмно-серого или бурого цвета.

Фракция	Размер частиц, мм	Время истечения из воронки, с, не более
1	не более 0,040	60 (для РС-4800 — 50)
2	от 0,040 до 0,071	35
3	от 0,094 до 0,140 (только РС-3710)	30

Частиц за пределами фракции — не более 5 % массы; посторонние включения не допускаются. Для РС-1714 время истечения не нормируют, зато этот порошок должен смачиваться спиртом с образованием однородной суспензии.

Условное обозначение при заказе: «Сплав РС-4800 Фр. 1 ГОСТ 22025-76» — слово «сплав», марка, номер фракции и стандарт.

Свойства сплавов и плёнок

Справочные данные из приложения к ГОСТ 22025-76 — для объёмных образцов и плёнок, полученных взрывным испарением.

Марка	Температура плавления, °С	Плотность, г/см³	Удельное сопротивление, 10⁻⁴ Ом·см	ТКС в объёме при 20–150 °С, 10⁻⁴ 1/°С
РС-5406	1400 ± 15	—	2,5–3	6–9
РС-5402	1420 ± 15	—	3,4–4,0	15–18
РС-4800	1550 ± 15	4,6–4,7	25–35	35–45
РС-4400	1500 ± 15	—	30–35	30–50
РС-3710	1250 ± 15	4,6–5,0	5–7	15–25
РС-3001	1350 ± 15	3,7–4,0	25–35	5–15
РС-1714	1570 ± 15	5,2–5,3	2–4	7–10
РС-1004	1380 ± 15	3,1–3,5	40–50	8–12

Марка	Поверхностное сопротивление плёнки, кОм/квадрат	Толщина плёнки, нм	Допустимая мощность рассеяния, Вт/см², не более
РС-5406	0,01–0,50	35–60	2
РС-5402	0,005–0,1	500–3000	2
РС-4800	0,1–1,0	30–100	5
РС-4400	1,0–5,0	—	2
РС-3710	0,05–2,00	15–300	5
РС-3001	0,8–3,0	20–100	5
РС-1714	0,3–0,5	30–50	5
РС-1004	3,0–50,0	30–200	5

Параметры плёнок получены при взрывном вакуумно-термическом нанесении с вольфрамового испарителя на ситалловую подложку при температуре подложки 360 ± 10 °С. При другом процессе параметры плёнок могут существенно отличаться.

Какую марку выбрать

По рекомендациям ГОСТ 22025-76:

• РС-5406 и РС-5402 — низкоомные резистивные слои, коррозионностойкие, с хорошей адгезией;
• РС-4800 — резистивные промежуточные слои с высокой износостойкостью;
• РС-4400 — износостойкие слои для длительной работы при температуре до 400 °С;
• РС-3710 — резистивные слои тонкоплёночных изделий электронной техники общего и частного назначения;
• РС-3001 — прецизионные тонкоплёночные изделия, испарение навесок порошка;
• РС-1714 — испарение навесок в сухом виде или в спиртовой суспензии;
• РС-1004 — высокоомные резистивные слои тонкоплёночных микросхем.

Для всех марок, кроме РС-3001 и РС-1714, стандарт рекомендует взрывное испарение.

Мишени из сплавов РС

Для магнетронного распыления из сплавов РС изготавливают мишени — диски и пластины, в том числе напаянные на водоохлаждаемое медное основание. Размеры задаёт чертёж установки. Укажите в заявке марку, размеры, нужна ли напайка на основание.

Упаковка и хранение

• порошок фасуют по 100–200 г в двойные пакеты из полиэтиленовой или полиэтилентерефталатной плёнки, по требованию — по 50 г; в банки — по 250–400 г;
• в каждую коробку вкладывают сертификат с результатами анализов, номером партии и фракции;
• хранение — в отапливаемом помещении при 10–40 °С без паров кислот; гарантийный срок — 2 года со дня изготовления;
• после хранения более трёх месяцев порошок рекомендуется просушить при 100–120 °С в течение 1 ч для улучшения текучести;
• упаковку вскрывают непосредственно перед работой, операции ведут в обеспыленном помещении.

Что указать в заявке

• марку и фракцию (например, РС-3710 Фр. 2);
• массу и фасовку;
• для мишеней — чертёж или размеры, нужна ли напайка на основание;
• нужен ли сертификат с результатами анализа партии.

Вопросы и ответы

Что означают цифры в марке РС-3710?

Номинальное содержание двух легирующих компонентов: 37 % хрома и 10 % никеля. По ГОСТ 22025-76 хром — 36,5–39,5 %, никель — 8,0–11,0 %, остальное — кремний.

Какая фракция нужна для взрывного испарения?

Стандарт выпускает фракции 1 (до 0,040 мм) и 2 (0,040–0,071 мм) для всех марок и фракцию 3 (0,094–0,140 мм) только для РС-3710. Фракцию выбирают по питателю и режиму испарения своей установки.

Это те же резистивные сплавы, что нихром и фехраль?

Нет. Нихром и фехраль — проволока и лента для нагревателей и резисторов, а сплавы РС — порошки для напыления тонких резистивных плёнок. Нагревательные сплавы — в разделе «Резистивные сплавы».

Почему порошок сушат после хранения?

ГОСТ 22025-76 рекомендует после хранения более трёх месяцев сушку при 100–120 °С в течение часа, чтобы восстановить текучесть порошка.

Купить сплавы РС-3710, РС-5406, РС-4400

Поставляем кремниевые резистивные сплавы всех марок по ГОСТ 22025-76 и мишени из них. Пришлите на 5052082@mail.ru марку, фракцию, массу или чертёж мишени.